Poudre d'alumine en plaquettes pour le polissage des semi-conducteurs

La forme cristalline de la poudre de polissage d’alumine produite est hexagonale plate comme une forme tabulaire, elle est donc appelée alumine plaquettaire ou alumine tabulaire.

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La poudre de polissage d’alumine calcinée en plaque est fabriquée à partir de poudre d’alumine industrielle de haute qualité comme matière première et traitée par un processus de production spécial. La forme cristalline de la poudre de polissage d’alumine produite est hexagonale plate comme une forme tabulaire, elle est donc appelée alumine plaquettaire ou alumine tabulaire.

Pour les matériaux semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium semi-conductrices, l’application d’oxyde d’aluminium en plaque peut réduire le temps de meulage, améliorer considérablement l’efficacité de meulage, réduire les pertes de la rectifieuse, économiser les coûts de main-d’œuvre et de meulage et augmenter le taux de réussite de meulage.

Composition chimique

Chimique Valeur de la garantie Valeur typique
Al2O3 ≥ 99,0 % 99,36%
SiO2 < 0,2 % 0,017%
Fe2O3 < 0,1 % 0,03%
Na2O < 0,6 % 0,35%

 

Propriétés physiques

Matériel α-Al2O3
Couleur Blanc
Densité spécifique ≥3,9g/cm3
Dureté de Mohs 9.0
Taper D3(euh) D50 (un) D94 (autour)
CA45 50,5-56,2 33-38,5 20,7-24,5
CA40 39-44,6 27,7-31,7 18-20
CA35 35,4-39,8 23,8-27,2 15-17
CA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
CA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
CA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
CA15 14,8-17,2 9.4-11 5,8-6,8
CA12 11,8-13,8 7,6-8,8 4.5-5.3
CA09 8,9-10,5 5,9-6,9 3.3-3.9
CA05 6,6-7,8 4.3-5.1 2,55-3,05
CA03 4,8-5,6 2,8-3,4 1,5-2,1

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